製品事例

アルミの薄物旋削加工

業界 半導体製造装置 
製品名 カバー 
材質 アルミニウム  A6061 
サイズ φ310 
厚み/重量 6ミリ 
寸法精度 平面度0.02以下 
LOT 10個 

半導体製造装置に使われるアルミの切削加工品には溶接を必要とする構成部品があり

極めて平面度・直角度・面粗さの要求が厳しいです。

特に薄い材料を加工する際に加工時の応力開放によってソリが発生するため、時間と治具を使って加工する、もしくは加工後にラップ加工、平面研削などを行う方法があります。

弊社ではφ500まで加工可能なNC旋盤を導入しており、旋削加工においてバキュームチャックを使用することで製品を吸着させ時間を掛けず平面度、直角度、面粗さを保つことができます。

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